安捷倫HLD PD03氦質譜檢漏儀質譜室故障原因及維修
氦質譜檢漏儀機械泵故障及處理：
1、機械泵不動作
檢查項目有：氦質譜檢漏儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。
2、機械泵聲音異常
檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。
氦質譜檢漏儀分子泵故障及處理：
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設置開關是否處于R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為氦質譜檢漏儀分子泵電源故障。
氦質譜檢漏儀質譜室故障及處理：
1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。
2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過氦質譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修ZX處理。
氦質譜檢漏儀檢測開始時出現的故障：
1、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒有反應。
2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時氦質譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號，檢漏鍵無效。
氦質譜檢漏儀檢漏時出現的故障：
1、不向細檢方式轉換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮，如果亮，說明氦質譜檢漏儀置于粗檢方式。再按一下粗檢開關切換到自動轉換狀態。
2、靈敏度低。檢查三極規所測壓力，等到質譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。
3、氦本底太高。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質會吸附較多的氦氣，導致氦污染)，檢查儀器系統是否有漏，真空管路是否污染，檢查三極規上壓力是否達到10-6MPa，離子源是否污染。另外還要注意環境的污染問題，如果有多臺氦質譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大，通風不好時，致使氦氣擴散慢，也會導致氦污染。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接。這樣，就大大減少了環境的氦污染。
4、工裝設計不合理導致檢漏通不過。初檢時工作正常，工作幾次后，抽速大大減慢，檢漏不過;加死堵氦質譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因為工裝設計不合理所致，比如工裝結構不合理，內表面太粗糙，導致過多的氦氣殘留;或者密封設計不合理導致密封不可靠(由于工裝設計人員對專業真空設計不熟悉)。
5、操作不合理導致故障。如工作中，有一個大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤，不認為工件漏，而去檢查工裝的連接或者氦質譜檢漏儀，多次對這一工件檢漏。這樣就會發現，所有工件都不過。原因是大漏的工件經多次檢漏后，有大量的氦氣進入質譜室，造成質譜室污染。解決的辦法是，清理質譜室，反復吸氣排氣。
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