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MKS電容薄膜規真空計維修 631D13T8FPBB故障維修

發布者:ZY    來源:上海仰光電子     發布時間:2023-12-2

MKS電容薄膜規真空計維修 631D13T8FPBB故障維修
MKS電容薄膜規真空計維修 631D13T8FPBB故障維修
一、排氣口冒煙或者噴油
  1、冒煙:若為泵開始運轉有冒煙的現象,屬正常現象,若長時間冒煙則不正常。冒煙說明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有泄露真空的狀態存在。
  2、噴油:進氣口外有大量的漏點,甚至暴露大氣。封住泵的進氣口使泵運轉,若不噴油,說明有漏點;檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥片。
二、噪音
   1、敲缸:不規律的響聲,似金屬敲打聲音?赡転楸脙葲]有油,或泵油進入過多水氣,或泵內油路不通造成。檢查泵油位是否正常;排出泵油,觀察油內是否含有大量水,若含有大量水,請更換新油;拆開泵對泵的每一個模塊上的小孔用壓縮空氣吹掃。
    2、排氣閥片噪音:排氣閥片破損。更換好的排氣閥片。 
三、真空度下降
  1、泵油的牌號和原先的不一樣:根據產品的型號規格更換正確的新真空泵油。
   2、泵油乳化變色,或過臟:放干泵油,更換同類型泵油,將氣鎮閥調節至“II”檔位,泵運行2-4小時,并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質不進入泵內。
   3、被抽氣體的溫度可能過高:降低氣體溫度。
   4、泵內的油路不通或者不暢,泵腔內沒有保持一定量的油量:檢查油路是否暢通,并加同類型真空泵油。
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