等離子表面處理儀真空泵過載如何維修處理？
一、真空泵過載解決
1、出現此情況請首先觀察系統參數有無變化，設備突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警;
2、如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況;
3、檢查導線是否有斷路或短路情況。
二、真空泵機械故障解決
1、所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空;
2、檢查真空門是否關到位;
3、逐級檢查真空系統中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞;
4、真空泵故障，需檢查保養真空泵。
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