氦質譜檢漏儀機械泵和分子泵故障維修及處理方法：
氦質譜檢漏儀機械泵故障及處理：
1、機械泵不動作
檢查項目有：氦質譜檢漏儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。
2、機械泵聲音異常
檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。
氦質譜檢漏儀分子泵故障及處理：
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作
有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導致分子泵無法啟動。檢查導致壓力過高的項目有：真空規管是否有問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉動。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設置開關是否處于R位置，此時應該在N位置。檢查風扇是否停止，如風扇正常，則可能為氦質譜檢漏儀分子泵電源故障。
氦質譜檢漏儀質譜室故障及處理
1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。
2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過氦質譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。
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